注液过程中，不可避免的少量电解液会被真空泵抽走，而电解液对传统的油封式旋片泵带来极大的挑战。

由无油螺杆泵代替传统的油旋片泵，因螺杆泵是无油干泵，避免了油旋片泵因油被污染而使泵失去抽气能力的现象。

因电解液具有一定的腐蚀性，对螺杆泵过流面进行防腐处理，从而大大延长泵的使用寿命及维护维修周期。

为了使抽气过程中气流的尽可能稳定，在真空系统中配置缓冲罐，使得注液过程稳定可靠。

为避免液体对真空泵运行造成的影响，在真空系统中配置汽液分离器，使液体与气体得到有效的分离。