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干式真空泵的特点

发布时间:2022-10-10

干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用与发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。

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有些真空泵是两个电机同步驱动,在确保全速和扭矩控制的同时,保证在泵运行时维持无部件相互接触;

无密封设计,确保无泄露;

通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持最小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。

1)清洁环保;

2)真空度高;

3)防腐设计(专利技术);

4)可抽除可凝性气体及少量粉尘气体(专利技术);5)特殊轴封设计,杜绝被抽介质与润滑系统互相污染;

6)防过载设计;

7)运转平稳;

8)高标准配置;

9)附件配置齐全

10)优质健全的零配件供应。


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