干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用与发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。
有些真空泵是两个电机同步驱动,在确保全速和扭矩控制的同时,保证在泵运行时维持无部件相互接触;
无密封设计,确保无泄露;
通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持最小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。
1)清洁环保;
2)真空度高;
3)防腐设计(专利技术);
4)可抽除可凝性气体及少量粉尘气体(专利技术);5)特殊轴封设计,杜绝被抽介质与润滑系统互相污染;
6)防过载设计;
7)运转平稳;
8)高标准配置;
9)附件配置齐全
10)优质健全的零配件供应。