要提高罗茨真空泵的极限真空度，可以考虑以下几个方面：

使用前级泵：将一个或多个前级泵与罗茨真空泵串联使用。常见的前级泵包括旋片泵、涡旋分子泵、离心泵等。前级泵能够将气体抽取到较低的压力范围，然后再由罗茨真空泵进一步抽取，从而提高整个系统的极限真空度。

优化密封系统：确保罗茨真空泵的密封系统良好，避免气体泄漏。检查和更换密封件，保持密封性能的良好状态。

减少内部泄漏：定期清洗和维护罗茨真空泵，防止积聚灰尘和污垢，以减少内部泄漏。同时，注意排除可能导致泵内部泄漏的因素，如损坏的密封件或零件。

控制运行参数：合理控制罗茨真空泵的转速和功率，以及进出口压力。根据具体应用需求，调整运行参数，以达到最佳的抽气效果和极限真空度。

定期维护和保养：定期进行罗茨真空泵的维护和保养，包括清洁、润滑、更换磨损零件等。保持泵的良好状态，可以提高其性能和极限真空度。

需要注意的是，提高罗茨真空泵的极限真空度是一个综合性的问题，需要根据具体的应用场景和系统要求来进行调整和优化。