干式真空泵在锂离子电池制造中的应用

我们知道，半导体、集成电路等高科技制造工艺，都需要在真空环境下才能完成。同样，锂离子电池制造工艺也需要在真空下进行。尽管锂离子电池制造不要求极高的真空度，但是在电池制造过程中要求采用高度可靠的真空设备，所以选择合适的真空泵显得尤为重要。许多第一代电池制造设备采用安装在设备内部或附近的油封式旋片泵，尽

2022-07-09