干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油。

干式螺杆真空泵是传统真空泵的更新换代产品，未来具有极大的市场前景。干式螺杆泵通常遇到的问题是应用和操作不当。以下对干式螺杆泵故障进行了简要分析。

（1）过热和卡死

干式螺杆泵对外界的各种条件是非常敏感的，通常造成过热的原因如下：

冷却水的流量不够和泠却水的温度过高。由于螺杆真空泵内部温度很高，它对于冷却水的流量和温度的要求比较严格，如果流量和温度不符合制造厂家的规定，会导致泵的过热和卡死。

入口气体温度过高。因为螺杆泵内部没有吸收热量的液体，根据干式螺杆真空泵的设计，其泵的内部温度是在110℃到260℃之间，所以厂家都规定了泵的最高入口温度，一般不允许超过70℃，如果忽略了这个问题，就会导致泵的内部温度过高，甚至泵被卡死。

与罗茨泵的配比不合理。在螺杆真空泵与罗茨真空泵选型过程中，有些参数是必须考虑的，其中最主要的是干式螺杆泵与上游罗茨真空泵的配比，亦就是容积流率之比：

SR=S1/S2

S1/S2=P2/P1

S1———罗茨泵容积流率

S2———螺杆泵容积流率

P1———罗茨泵的入口压力

P2———螺杆泵的入口压力

SR———级比

由于S1通常大于S2，所以P2大于P1，当气体通过罗茨泵以后，其排出的气体温度会升高，当进入螺杆泵的气体温度超出允许值后，就会造成泵的过热甚致卡死。为了可靠起见，一般SR取2～4之间。

（2）泵腔内存在积液现象，造成振动和噪音增大

当螺杆真空泵抽除可凝性气体时，在泵的排气口会堆积被冷凝的液体，一旦泵停车时，这些液体就返回到泵腔内，造成泵再启动困难，振动和噪声增加大。如果这些液体具有腐蚀性，长时间残留在泵腔内，则会腐蚀螺杆和泵腔。

所以在设计真空装置时，泵的排气管道要低于泵的排气口的位置，或者在泵的排气口处安装一台单向阀，当泵停车时，阀门自动关闭，以防止被冷凝的液体倒流到泵腔内。

（3）油箱内的润滑油变质

螺杆真空泵大都用于抽除可凝性气体或腐蚀性气体。虽然泵腔和油箱之间设有机械密封或迷宫密封，而且在密封处还有气障保护，以防止工艺气体进入到油箱。但是仍然会有少量工艺气体进入到油箱，当积累到一定程度，润滑油就会变质。

所以油箱里的润滑油还是需要根据不同工艺，在3~6个月进行更换。如果被抽气体腐蚀性很强，则需要采用耐腐蚀的氟油，以确保泵的正常运行。

（4）电机电流过高

造成这个问题的原因有：

a.过高的排气压力（背压）。

b.由于冷却水和入口气体温度过高，而造成螺杆之间的相互接触。

c.工艺物质堆积在泵内。

上述a和b己经在前面讨论过，现在重点讨论工艺物质堆积问题。

众所周知，许多真空工艺都含有化学物质，它们在高温下具有粘性，很容易堆积并烧结在螺杆的表面，见图7所示，当堆积的厚度不断增加时，就会在螺杆与螺杆之间出现一个零间隙，造成相互接触，于是在泵轴上产生一个附加扭矩，导致泵的运行电流增加。

关于工艺物质堆积问题的解决方案，可以作如下选择：

方案1：在螺杆泵的上游设置分离罐或过滤器。

方案2：用水蒸汽冲洗。

方案1对于延长泵的寿命是非常有利，然而这些过滤器是很昂贵，亦需要经常维护，另外当过滤器堵塞时，会导致螺杆泵对容器的有效抽速下降。

方案2用水蒸汽冲洗，虽然无需过滤器，但操作不当，亦有可能造成对泵的损害和不能确保冲洗后的效果。冲洗时，泵要停止运行，关闭泵的入口阀门，打开泵的排气口，从泵的入口通入水蒸汽，直到螺杆泵可以灵活转动为止。冲洗完成后，螺杆泵仍需空转运行20分钟，使泵腔内部始终保持干燥状态。